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方案概述

針對半導體芯片制造、TFT-LCD制造、電子元件制造、印制電路板制造、電子終端產品制造等工藝中產生的各類廢氣,天得一深入研究并為其提供定制化的廢氣治理解決方案。這些廢氣主要源于生產過程中的多個工序,如薄膜沉積、光刻、刻蝕、清洗和涂覆等,包括CVD廢氣(含硅烷、氫氣、氨氣、含氟含磷廢氣等)、剝離液廢氣等在內的特氣、酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣等。針對泛半導體行業廢氣排放特點,我們深入研發,為泛半導體行業提供高效、可靠的廢氣治理方案。

方案內容

  • CVD廢氣處理:使用高效真空泵抽取廢氣,首先經過Local Scrubber凈化裝置進行初步處理,然后進入Central Scrubber進行深度治理。采用多種凈化方式,確保廢氣達標排放。凈化工藝涵蓋冷凝、燃燒、除塵、洗滌、吸收、吸附和靜電等多種方式.
  • 酸性堿性廢氣、剝離液廢氣處理:采用冷凝法回收有價值的組分,然后進入集中洗滌系統。利用酸堿中和、多級吸收和吸附、常溫催化氧化工藝,深度凈化并消除異味。
  • 有機廢氣處理,我們利用活性炭吸附或沸石轉輪技術,將大風量、低濃度的有機廢氣濃縮為小風量、中高濃度的有機廢氣。隨后,這些廢氣會經過高效的焚燒處理(如RTO/TO/CO等),確保排放濃度低于20mg/m3。
  • 其他廢氣處理:天得一始終根據客戶的具體需求和實際情況,為其提供定制化的廢氣治理解決方案,真正解決客戶的后顧之憂。通過科學合理的廢氣治理,可以有效地減少泛半導體工藝對環境的影響,同時也可以保障操作人員的健康和安全。
  • 立即咨詢

方案特點

  • 預處理

    專用預處理

    保證系統高效、穩定運行

  • 組合工藝設計

    處理復雜成分及大風量廢氣

  • 自動化程度高

    自動化程度高

    投資、運行經濟性良好

  • 運行穩定

    運行穩定

    負壓布置,廢氣處理達標排放

  • 安全可靠

    安全可靠

    多重安全聯動+防爆設計

核心產品

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